铝酸锂 LiAlO2

LiAlO2(铝酸锂)晶体是高温超导薄膜最重要的衬底。它与高温超导材料如YBaCuO非常匹配,并且具有低介电常数和低微波损耗的特点。LiAlO2是一种潜在的III-V族氮化物薄膜衬底,因为它与GaN具有良好的晶格匹配、高温下的化学稳定性以及比ZnO更具成本效益,是GaN薄膜的优良衬底。LiAlO2晶体可以取代ZnO和蓝宝石应用于光学衬底。

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应用

LiAlO2(铝酸锂)晶体是高温超导薄膜最重要的衬底。
可以用作III-V氮化物薄膜的衬底。
LiAlO2晶体可以取代ZnO和蓝宝石作为光学衬底。

特点

铝酸锂与高温超导材料如YBaCuO非常匹配,并且具有低介电常数和低微波损耗的特点。
在高温下的化学稳定性和成本效益优于氧化锌。
铝酸锂(LiAlO2)单晶与GaN晶体具有较低的晶格失配,是GaN薄膜的优良衬底。

  • 晶体结构

    四方

    晶格常数

    a=5.17 A    c=6.26 A

    熔点(℃)

    1900

    密度

    2.62(g/cm3

    硬度

    7.5mohs

    GaN失配率 <001>

    1.4%

    尺寸

    10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,


    Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″

    厚度

    0.5mm,1.0mm

    抛光

    单面或双面

    晶向

    <100>  <001>

    晶面定向精度:

    ±0.5°

    边缘定向精度:

    2°(特殊要求可达1°以内)

    斜切晶片

    可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片

    Ra:

    ≤5Å(5µm×5µm)

    包装

    100级洁净袋,1000级超净室